In-plane衍射对于薄膜表征非常重要。如配置Bragg-Brentano标准测角仪，用于测量平行于样品表面的晶面，X射线穿透样品到一定深度，产生衍射；而若样品层太薄，X射线则完全透过样品而不产生衍射。这种情况下，应使用in-plane衍射。 In-plane衍射具有以下两个特点： 
1.光束穿透深度有限，约100 nm。
2.该技术测量几乎垂直样品表面的晶面，是其他技术无法达到的。

系统

• 自动 in-plane XRD: SmartLab®
• 高性能in-plane XRD: Ultima IV
• 18 kW θ/θ XRD: TTRAX III