X射线衍射（XRD）分析小样品或大样品的微小区域通常被称为微区衍射。当样品非常小，传统衍射仪的光路和精度无法满足测量要求时，采用微区X射线光路反映样品上衍射分布信息。精确的定位能力使X射线微小光束准确照在样品表面，获得的信息作为衍射功能图(DFM)。衍射数据库包括化合物鉴定，晶体取向，应力，结晶度，晶粒尺寸。在材料研究和制造领域微区衍射发展迅速，由于小区域会影响产品成品率和可靠性。微区衍射分析应用包括：组合化合物库，地质样品中夹杂物，金属或塑料部件的失效分析和工厂质量控制(QC)。

系统

• 微区衍射: RAPID II
• 高功率 θ/θ测角仪系统: TTRAX III